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PRODUCT
center

產(chǎn)品中心

名稱(chēng):四氟化碳

分類(lèi):四氟化碳

賣(mài)家:常州大成工業(yè)氣體有限公司

地址:常州市金壇區(qū)龍湖路33號(hào)

咨詢(xún)服務(wù)熱線(xiàn):

15961136667

產(chǎn)品詳情

四氟化碳 CF4)

 

項(xiàng)目名稱(chēng)

純度指標(biāo)(%

四氟化碳

≥99.999

雜質(zhì)含量(ppm)

氧氣(O2

≤5

水(H2O

≤2

氮?dú)猓?/span>N2)

≤2

二氧化碳(CO2)

≤1

一氧化碳(CO

≤1

碳?xì)浠衔铮?/span>THC

≤1


包裝:采用47L、44L鋼瓶充裝,也可根據(jù)客戶(hù)需要,分裝到8L的氣瓶中。 

 

用途:四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量大的等離子蝕刻氣體 ,其高純氣及四氟化碳高純氣配高純氧氣的混合氣,可廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻,在電子器件表面清洗、太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗(yàn)劑、控制宇宙火箭姿態(tài)、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。

 

理化性質(zhì)在常溫下 , 四氟化碳是無(wú)色、無(wú)臭、不燃的可壓縮性氣體,揮發(fā)性較高,是穩(wěn)定的有機(jī)化合物之一,在 900 ℃時(shí),不與銅、鎳、鎢、鉬反應(yīng),僅在碳弧溫度下緩慢分解,微溶于水,在25℃及0.1Mpa下其溶解度為0.0015%(重量比),然而與可燃性氣體燃燒時(shí),會(huì)分解產(chǎn)生有毒氟化物。

 

注意事項(xiàng):四氟化碳是不燃性壓縮氣體。儲(chǔ)存于陰涼、通風(fēng)倉(cāng)間內(nèi)。倉(cāng)內(nèi)溫度不宜超過(guò)60℃。遠(yuǎn)離火種、熱源。防止陽(yáng)光直射。應(yīng)與易燃或可燃物分開(kāi)存放。驗(yàn)收時(shí)要注意品名,注意驗(yàn)瓶日期,先進(jìn)倉(cāng)的先發(fā)用。搬運(yùn)四氟化碳時(shí)輕裝輕卸,防止鋼瓶及附件破損。泄漏時(shí),應(yīng)迅速撤離泄漏污染區(qū)人員風(fēng)處,并進(jìn)行隔離,嚴(yán)格出入。建議應(yīng)急處理人員戴自給正壓式呼吸器,穿一般作業(yè)工作服。盡可能切斷泄漏源。合理通風(fēng),加速擴(kuò)散。如有可能,即時(shí)使用。漏氣容器要妥善處理,修復(fù)、檢驗(yàn)后再用。


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