氣體名稱 | 化學(xué)� | 純度(%) | 雜質(zhì)(ppm) |
高純氦氣 | He | 99.999% | O2�1,CH4�0.5, CO2�0.5, Ne�4 ,H2�1, CO�0.5 ,H2O�3 ,N2� |
高純氬氣 | Ar | 99.999% | O2�1.5 ,CH4�0.4, N2�4, H2�0.5, H2O�3,CO�0.3,CO2�0.3 |
高純氫氣 | H2 | 99.999% | O2�1 ,CO2�1, N2�5, CH4�1 ,CO�1 ,H2O� |
高純氮氣 | N2 | 99.999% | O2�3 ,H2O�3, H2�1, HC� |
二氧化碳 | CO2 | 99.999% | O2�1,H2O�2,N2�5,CO�1,HC� |
一氧化� | CO | 99.99% | H2�10,O2+Ar�10,N2�50,CO2�20,H2O�5,THC� |
二氧化硫 | SO2 | 99.9% | �+�<100,�<10,其他<200 |
一氧化� | NO | 99.5% | 氧化亞氮<4000,二氧化氮<2000,氮氣<300,二氧化碳<500 |
硫化� | H2S | 99.9% | 氫氣<200ppm,氧氣+氮氣<100ppm,�<3ppm |
氯化� | HCL | 99.9% | H2�50 02+Ar�30 N2�450 THC�5 CO�60 CO2�400 H20� |
� | NH3 | 99.999% | 氧氣 <1.0ppm,氮氣 <2.0ppm,一氧化�<1.0ppm,�<2.0ppm,THC(C1~C3) <1.0ppm |
六氟化硫 | SF6 | 99.999% | O2+Ar�2 ,N2�2,H20�3, HF�0.1, CF4�1,CO�0.5� CO2�0.5,CH4�0.5 |
合成空氣 | Air | O2:19.5�22.5% | H2O�5, CO/CO2�0.5, THC� |
��空氣 | Air | O2: 19.5�22.5% | H2O�5, CO/CO2�0.5, THC�0.1 |